技術參數：

1.累積產氣EFS 模塊

2.分辨率:3.3ml

3.量程:3.3-6000m1/h，在低量程下精度高。

4.測量誤差:0.01ml。

5.顯示方式:儀器自帶液晶顯示屏自動顯示。

6.尺寸:圓柱形，直徑×高度100x112mm，腔體全透明式。

7.材質:有機玻璃腔體和特種塑料傳感器。

8.結構:雙傳感器頂置安裝，可拆卸，可更換，可遠傳，上蓋可打開，方便校準維護。氣道與有機玻璃腔一體式，腔體內壁，內壁頂部進氣直通底部，無再接任何裝置。

9.液位:帶終點液位指示裝置。